GB/T 15909-2009 电子工业用气体硅烷(SiH4)

标准详情：

GB/T 15909-2009

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体硅烷(SiH4)
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：代替GB/T 15909-1995被GB/T 15909-2017全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院、

起草人

余京松、周鹏云、

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