YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定？气相色谱法

标准详情：

YS/T 1434-2021

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：六氯乙硅烷组分含量的测定？气相色谱法
CCS分类：H17
ICS分类：77.04
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
代替标准：
行业分类：制造业
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会,全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《六氯乙硅烷组分含量的测定？气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。
本文件规定了六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的气相色谱测定方法。本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定，各组分的测定范围（质量分数）为不小于0.001%。

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司

起草人

万烨、严大洲、赵雄、楚东旭、刘凤华、徐家扬、曹俊英、田润朝、于生海、安军林、侯海波、邓远红、付萍

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