GB/T 26307-2010 银靶
标准详情：
GB/T 26307-2010
国家标准推荐性现行
- 中文名称：银靶
- CCS分类：H68
- ICS分类：77.120.99
- 发布日期：2011-01-14
- 实施日期：2011-11-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：冶金有色金属其他有色金属及其合金
内容简介
国家标准《银靶》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
起草人
闫琳、杨华、雷继锋、熊晓东、李蕊、杨永刚、江轩、
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