GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标准详情：

GB/T 32188-2015

国家标准推荐性

中文名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院物理研究所、丹东新东方晶体仪器有限公司、苏州纳维科技有限公司、北京天科合达蓝光半导体有限公司、

起草人

邱永鑫、任国强、王建峰、陈小龙、徐科、赵松彬、刘争晖、曾雄辉、王文军、郑红军、

相近标准

GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
SJ/T 11396-2009 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法
GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量阴极荧光显微镜法
20230118-T-609 凹凸棒石相含量的测定 X射线衍射-标准曲线法
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
20204892-T-469 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错