GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

标准详情：

GB/T 19199-2015

国家标准推荐性

中文名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-07-01
代替标准：代替GB/T 19199-2003
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室温下从 1.0×10^15 atoms/cm3 到代位碳原子的最大溶解度,77 K 时检测下限为4.0×10^14atoms/cm3。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司、

起草人

何秀坤、李静、张雪囡、

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