GB/T 20175-2006 表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法

标准详情：

GB/T 20175-2006

国家标准推荐性

中文名称：表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法
CCS分类：N33
ICS分类：71.040.40
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
代替标准：
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。

起草单位

清华大学电子工程系、

起草人

查良镇、陈旭、黄天斌、刘林、王光普、黄雁华、

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