GB/T 44515-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
标准详情：
GB/T 44515-2024
国家标准推荐性现行
- 中文名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
- CCS分类：L59
- ICS分类：31.080.99
- 发布日期：2024-09-29
- 实施日期：2025-01-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准委
- 标准分类：电子学半导体分立器件其他半导体分立器件
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
本文件描述了用于压电式微传感器和微执行器等器件的压电薄膜机电转换特性测量方法。本文件适用于MEMS工艺制备的压电薄膜。
起草单位
北京自动化控制设备研究所、芯联集成电路制造股份有限公司、苏州大学、太原航空仪表有限公司、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司、北京遥测技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、天津大学、河北初光汽车部件有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、华景传感科技（无锡）有限公司、安徽奥飞声学科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、华润上华科技有限公司、中国航天科工飞航技术研究院、深圳市美思先端电子有限公司、西安交通大学、上海新微技术研发中心有限公司、上海芯物科技有限公司、北京大学、共达电声股份有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、
起草人
王永胜、 张红宇、 张菁华、 孙立宁、 李拉兔、 刘会聪、 毛志平、 路文一、 王志广、 汤一、 郑冬琛、 陈得民、 卢弈鹏、 袁长作、 陈福操、 李树成、 安志武、李根梓、苏翼、张新伟、邢文忠、徐堃、单伟中、许克宇、要彦清、娄亮、姚鹏、胡晓东、仲胜利、侯杰、王志宏、
相近标准
20242840-T-469 微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
GB/T 44513-2024 微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
20253568-T-469 微机电系统（MEMS）技术 偏转镜重复定位精度测量方法
20251988-T-469 微机电系统（MEMS）技术 扫描镜
20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范
20254928-Z-469 微机电系统（MEMS）技术 扫描镜光学可靠性试验方法
20242839-T-469 微机电系统（MEMS）技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法
20240910-T-469 微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法
20254927-Z-469 微机电系统（MEMS）技术 芯片封装凸点高度测量方法 光学三角法
20243541-T-469 微机电系统（MEMS）技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
- 标准质量：
下载说明
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。