GB/T 44926-2024 纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法

标准详情：

GB/T 44926-2024

国家标准推荐性

中文名称：纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法
CCS分类：N51
ICS分类：17.040.30
发布日期：2024-12-31
实施日期：2025-07-01
代替标准：
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
发布部门：中国科学院
标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量测量仪器仪表

内容简介

国家标准《纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。本文件适用于固体材料。

起草单位

哈尔滨工业大学、昆明物理研究所、北京微电子技术研究所、中国计量科学研究院、西安应用光学研究所、航天科工防御技术研究试验中心、

起草人

刘俭、施玉书、胡旭、张云龙、刘辰光、张树、李冬梅、冯慧、

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