GB/T 14851-2025 电子特气 磷化氢
标准详情：
GB/T 14851-2025
国家标准推荐性即将实施
- 中文名称：电子特气 磷化氢
- CCS分类：G86
- ICS分类：71.100.20
- 发布日期：2025-03-28
- 实施日期：2025-10-01
- 代替标准：代替GB/T 14851-2009
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准委
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
内容简介
国家标准《电子特气 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。
起草单位
西南化工研究设计院有限公司、上海正帆科技股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、全椒南大光电材料有限公司、浙化省标准化研究院、宿州伊维特新材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、上海飞择科技有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、
起草人
孙福楠、 曾庆腾、 王百林、 曹素英、 倪珊珊、 万娟秀、 孙猛、 戴玺、 孙建、 施旖旎、 陈洁、 吴靓、 杨康、 唐中伟、 姜阳、 李春华、 易达文、 李阳、 高静、 赖晓峰、 王科、 熊壮、 李东升、傅铸红、何经余、沙婷、朱明、王新喜、徐孝天、方强、赵趫、郑新权、方华、李扬、黄辉、施卫丰、宫兵、王大为、梁永强、梁成科、谭依玲、周鹏云、
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