GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

标准详情：

GB/T 36401-2018

国家标准推荐性

中文名称：表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告
CCS分类：G04
ICS分类：71.040.40
发布日期：2018-06-07
实施日期：2019-05-01
代替标准：
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

起草单位

厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系、

起草人

汤丁亮、李展平、刘芬、王水菊、岑丹霞、姚文清、

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