GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定 离子色谱法

标准详情:

GB/T 37385-2019

国家标准推荐性
  • 中文名称:硅中氯离子含量的测定 离子色谱法
  • CCS分类:H17
    ICS分类:77.040
  • 发布日期:2019-03-25
    实施日期:2020-02-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅中氯离子含量的测定 离子色谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅中氯离子含量的离子色谱测定方法。本标准适用于测定棒状、块状、颗粒状和片状硅中x离子含量的测定。测定范围为1.0μg/g至硅中氯离子的最大固溶度。

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、新特能源股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、有色金属技术经济研究院、

起草人

王桃霞、刘逸枫、耿全荣、梁博松、贾芬、张佳伟、邱艳梅、宗冰、刘晓霞、刘源君、鲁文锋、胡议允、陈飞、刘国霞、李素青、

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