GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

内容简介

国家标准《真空技术 质谱检漏仪校准》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。 本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。

起草单位

沈阳真空技术研究所、

起草人

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