GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法腐蚀法

标准详情：

GB/T 14142-1993

国家标准推荐性

中文名称：硅外延层晶体完整性检查方法腐蚀法
CCS分类：H26
ICS分类：
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
代替标准：被GB/T 14142-2017全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：

内容简介

国家标准《硅外延层晶体完整性检查方法腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm测量范围为010000cm。

起草单位

峨眉半导体材料研究所、

起草人

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