GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法

标准详情：

GB/T 14145-1993

国家标准推荐性

中文名称：硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
CCS分类：H24
ICS分类：
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：

内容简介

国家标准《硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

上海有色金属研究所、

起草人

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