GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法

标准详情：

GB/T 14141-1993

国家标准推荐性

中文名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法
CCS分类：H21
ICS分类：
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
代替标准：被GB/T 14141-2009全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：

内容简介

国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

峨眉半导体材料研究所、

起草人

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