GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
标准详情：
- 中文名称：硅抛光片表面平整度测试方法
- CCS分类：H21
- ICS分类：
- 发布日期：1995-04-18
- 实施日期：1995-12-01
- 代替标准：被GB/T 6621-2009全部代替
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：
内容简介
国家标准《硅抛光片表面平整度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
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