GB/T 29557-2013 表面化学分析深度剖析溅射深度测量

标准详情：

GB/T 29557-2013

国家标准推荐性

中文名称：表面化学分析深度剖析溅射深度测量
CCS分类：G04
ICS分类：71.040.40
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
代替标准：
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析深度剖析溅射深度测量》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

起草单位

中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学、

起草人

陈建、张训生、张卫红、盛世善、谢方艳、龚力、

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