GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
标准详情：
GB/T 14851-2009
国家标准推荐性现行
- 中文名称：电子工业用气体 磷化氢
- CCS分类：G86
- ICS分类：71.100.20
- 发布日期：2009-10-30
- 实施日期：2010-05-01
- 代替标准：代替GB/T 14851-1993
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
内容简介
国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
起草单位
中国计量科学研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院、
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