GB/T 32386-2015 电子工业用气体六氟化钨

标准详情：

GB/T 32386-2015

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体六氟化钨
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2015-12-31
实施日期：2016-07-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所、西南化工研究设计院有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、厦门钨业股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、

起草人

郑秋艳、江海风、林竹光、王志信、周鹏云、王占卫、方兰兰、方华、杨仁、

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